往生记正文一百三十我我鱼
一百三十
经过了几个月的焦急等待与煎熬长久和虞博士倾注心血的第一个芯片工厂终于在1983年的五月份调试成功进行了试生产。
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试生产的产品是的mos动态存储器比较成熟的产品工艺也不复杂但是却是十分的考验生产线的性能。
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动态存储器结构很简单只要一到三个晶体管即可构成一个存储单元视结构而定。制造存储器的关键在于集成度将成百上千的存储单元集合在一起组成阵列相互之间的线宽要缩小到极限这样才能降低成本因此对工艺的要求很高。
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这也是为什么一个芯片工厂的技术指标乃至一个国家的集成电路工艺水平总是用单片存储器的容量表示的原因这方面的竞争可以说用残酷来形容美国、欧洲、日本都在争分夺秒的提高动态存储器的容量其中以日本做的最为变态。
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小鬼子以重工业立国几十年如一日的搞“物作”信奉的是实体懂得以国家之力冲刺难关终于突破了集成电路制造技术让日本公司在国际上都有了竞争力能和美国人竞争mos存储器制造。
曹长久的这个芯片生产线虽说按着公开的最新技术设计但是不敢托大只是选择了成熟的东西试产力求一次成功不留后患时间不等人。
试产那天虞博士和曹长久严阵以待每个环节都亲自把关。原料是进口的高纯3英寸硅单晶价格那是相当的高。
集成电路芯片号称比黄金都贵物料成本却比垃圾都低其原因就是原料使用的是无所不在的沙子。
但是将沙子当中的硅提炼提纯却需要相当的工艺这个成本就是高的惊人了。光有晶圆还不够整个生产工序足有89道每一道都是一个关口要想将成品率控制在百分之八、九十以上其难度可想而知。
作为精密印刷业的一个分支芯片工艺最见不得的就是灰尘和缺陷更何况几乎上百道的工序要转移。
因此每道工序的合格率就成了关键哪怕是百分之九十九也不成。很简单一道工序合格百分之九十九那么近百道工序下来还剩多少能用的？
因此虞博士和长久他们一个工序一个工序的检查务必保证完美。虞博士是老手他当年就是干这个的因此熟门熟路。
长久就是一生手好在他现在的地位已经不需要干什么了只要站那里看就行了。
把所有的工序滤一遍需要好长时间整整一个星期就这么过去了长久不禁懵。
“虞叔不是要试产吗？”长久感觉不太对劲“这都过去好些日子了怎么还没动静？”
“年轻人少安毋躁！”虞博士成竹在胸“没有三两三哪敢上梁山！一年多都等下来了还在乎这点时间我们虽说有点钱但也禁不起造的准备充分一点还是有好处的。”
欲善其事先利其器的道理长久还是懂得倒也没说什么。虞博士这些日子的辛劳他也看在眼里人家都身先士卒了长久一个头还能不表示表示？
忙碌了一周之后生产线悄无声息的开动了一片片的晶圆犹如烤面包一样的在炉子里面旋转烘烤。一片灰尘就能报废整个的晶圆人人在里面都得穿上防化服防止各种各样的污染。
这个生产线还不是全自动化的依然有人在里面做一些必须的工作人人都小心翼翼手里端的可都是希望。
整整72小时第一批的存储器晶圆出炉了经过切割检测一个大致的成品率数据被估算出来了。
“百分之七十八嗯。”虞博士嘴里念叨着脸上不动声色。
长久也不知道这个数据是好是坏只好问道：“虞叔怎么样能不能成啊。”
虞博士笑道：“还行等我们的工艺参数微调之后相信会更好。”
“那就是成功了！”长久拿着一块成品晶圆兴奋的大叫“万岁！”
这是一颗bit的mos管动态存储器是基于单晶体管存储单元的结构使用了两层多晶薄膜分开三层电路结构就好像电路板分层一样。
两层多晶结构可以使整个的集成电路可以有更好的布线效率就相当于一块电路板双层的可以比单层的面积缩小一半。
这是存储器制造工艺的一个革命性的改进是虞博士亲自开的。美国人早在1975年就实现了这个工艺而华夏在这个年代还没有这样的技术这次成功也算是一个小小的突破吧。
为了制造出两层多晶膜这颗动态存储器使用了7层掩膜（mask）。所谓掩膜就是一张刻有图形的透光板而已。
我们都会用硬纸板写字或画上图案然后按着图形掏空拿喷漆一喷就是一个字或图案出来了。集成电路也是一样只不过光代替了喷漆而掩膜板代替了硬纸板而已。
集成电路生产线使用的掩膜板大多是石英玻璃表面喷涂了金属铬用照相技术或者电子束在其上进行感光之后酸一洗就是一个带着图案的掩膜版。
长久他们的工厂设备分辨率只能达到1~到3微米只能进行分步投影接近正常的图形,七层掩膜就是做这个用的。
三英寸的硅晶圆五微米的生产技术整个动态存储器的芯片面积（die）大概19平方毫米十分之小巧玲珑。
的存储器早就是过时的产品五微米技术也远不是这个工厂的极限只是这都是虞博士的考虑。
生产线刚刚运转各种工艺条件需要磨合人员素养也要提高为了保险起见只能拿这个东西练手
还好没出什么大的纰漏一切同虞博士的预想一样。
“长久可以召开会了。”虞博士长出一口气“目前看来运转良好下一步就可以使用2微米技术试产o21改进型了。”
这个不用长久操心公司里早有一帮人专门干这个的。五月十八日数字东方在半岛酒店隆重召开了记者招待会邀请各家媒体记者向社会宣布了数字东方的芯片工厂试产成功不日即将出口供货。
十分可惜似乎港府对这个消息并不怎么在意来的记者大多是应差。倒是老外对此很重视前排啪啪坐了一大群各类重型装备摆了一溜似乎就等着拍照片。
长久没见过这个大场面刚一上台还没说话就被闪光灯炫的退了一步。
长久定了定神索性不看下面拿出了演讲稿开始朗读。一连串的数据指标出来把下面的老外都唬的一愣一愣的。
讲到酣处长久取出了早已准备好的一块报废晶圆给下面的家伙做了一个pose。
这是长久梦中常见的场景他可是十分羡慕那些人模人样的家伙捧着块晶圆站在讲台上。今天长久可真是激动啊这可是他自己的产品终于实现了梦想。
那些记者哪见过这个架势顿时闪光灯响声大作一张经典传世照片就这样诞生了。
第二日各大报纸纷纷登载了这条消息主题就是一个年轻人傻傻的手捧闪光的硅晶圆的相片。
香港《大公报》对这个新闻做了一篇短评高调的赞扬了本土高新技术产业的展对长久本人也是表示了很大的兴趣因为这家伙实在是太年轻了。
国外的报纸也纷纷转载不过大多对此表示了轻视或嘲笑因为长久在会上展示的dram制造技术还是美国75年的水平因此完全不把他当作一个威胁。
只有宫本屁颠屁颠的跑了过来询问供货事宜。
长久此时当然自信满满的答应他一个月后第一批货就可以出了你们就把钱准备好吧。
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